(Desde mediados del siglo XVIII)
| Nombre | Mandato |
|---|---|
| Manuel de Amat y Junyent | diciembre 1755 - septiembre 1761 |
| Félix de Berroeta | septiembre 1761 - octubre 1762 |
| Antonio de Guill y Gonzaga | octubre 1762 - agosto 1768 |
| Juan de Balmaseda y Censano Beltrán | agosto 1768 - marzo 1770 |
| Francisco Javier de Morales y Castejón de Arroyo | marzo 1770 - marzo 1772 |
| Agustín de Jáuregui | marzo 1772 - julio 1780 |
| Tomás Álvarez de Acevedo Ordaz | julio 1780 - diciembre 1780 |
| Ambrosio de Benavides | diciembre 1780 - abril 1787 |
| Tomás Álvarez de Acevedo Ordaz | abril 1787 - mayo 1788 |
| Ambrosio O'Higgins | mayo 1788 - mayo 1796 |
| José de Rezabal y Ugarte | mayo 1796 - septiembre 1796 |
| Gabriel de Avilés y del Fierro | septiembre 1796 - enero 1799 |
| Joaquín del Pino Sánchez de Rojas | enero 1799 - abril 1801 |
| Francisco Tadeo Diez de Medina Vidanges | abril 1801- enero 1802 |
| Luis Muñoz de Guzmán | enero 1802 - febrero 1808 |
| Francisco Antonio García Carrasco | febrero 1808 - julio 1810 |
| Mateo de Toro Zambrano y Ureta | julio 1810 - octubre 1814 |
| Mariano Osorio Pardo | octubre 1814 - marzo de 1818 (Virrey desde 1815) |
| Francisco de la Lastra de la Sotta | marzo 1818 - abril 1822 |
| Antonio José de Irisarri Alonzo | abril 1822 - enero 1827 |
| Bernardo O'Higgins | enero 1827 - julio 1831 |
| Agustín Manuel de Eyzaguirre Arechavala | julio 1831 - julio 1835 |
| José Miguel de la Carrera y Verdugo | julio 1835 - enero 1840 |
| Carlos Luis de Arce y Burriel | febrero 1840 - febrero 1845 |
| José Félix Iguaín | febrero 1845 - septiembre 1851 (falleció en el cargo) |
| José Justiniani Ramírez de Arellano | septiembre 1851 - enero 1853 (falleció en el cargo) |
| Manuel Montt Torres | 20 de enero 1853 - 18 de septiembre de 1861 |
| José Joaquín Pérez Mascayano | 18 de septiembre de 1861 - 18 de septiembre de 1871 |
| Federico Errázuriz Zañartu | 18 de septiembre de 1871 - 18 de septiembre de 1876 |
| Aníbal Pinto Garmendia | 18 de septiembre de 1876 - 18 de septiembre de 1881 |
| Domingo Santa María González | 18 de septiembre de 1881 - 18 de septiembre de 1886 |
| José Manuel Balmaceda Fernández | 18 de septiembre de 1886 - 29 de agosto de 1891 |
| Jorge Montt Álvarez | 29 de agosto de 1891 - 18 de septiembre de 1896 |
| Federico Errázuriz Echaurren | 18 de septiembre de 1896 - 12 de julio de 1901 (falleció en el cargo) |
| Aníbal Zañartu Zañartu | 12 de julio de 1901 - 18 de septiembre de 1901 (interino) |
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